Lam Research Corp 価格

ラム リサーチ コーポレーション（Lam Research Corporation）は、集積回路の製造に使用される半導体プロセス装置の設計、製造、販売、リファービッシュ、サービスを行っています。同社は、タングステンのメタライゼーション用途向けにコンフォーマル膜を堆積するALTUSシステムを提供しています。また、銅配線のトランジションに適した電気化学堆積製品で、銅ダマシン製造を可能にするSABRE、膜処理用のSOL A紫外線熱処理製品、さらにプラズマ強化CVD ALD製品であるVECTORを提供しています。加えて、高密度プラズマ化学気相堆積製品のSPEED gapfillも提供しており、誘電体膜ソリューション向けの単一ウェーハ原子層堆積製品であるStrikerも取り扱っています。 さらに、誘電体エッチング用途のFlex、導体エッチング用途のKiyo、スルーシリコンビア（TSV）エッチング用途のSyndion、金属エッチングプロセス向けのVersys金属製品も提供しています。また、ダイの歩留まりを高めるためのCoronus bevel clean製品、さまざまなウェーハ洗浄用途に対応するDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズ製品、そして半導体ウェーハ製造における高精度のインライン質量測定のためのMetryxマス・メトロロジー（質量計測）システムも提供しています。 同社は、米国、中国、ヨーロッパ、日本、韓国、東南アジア、台湾、ならびに世界各国の半導体業界に向けて製品とサービスを販売しています。ラム リサーチ コーポレーションは1980年に設立され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いています。