泛林集团价格

Lam Research Corporation 设计、制造、销售、翻新并提供用于集成电路制造的半导体加工设备的服务。公司提供 ALTUS 系统，用于 tungsten metallization 应用的沉积符合性薄膜；提供 SABRE 电化学沉积产品，用于 copper interconnect transition，提供铜金属化制造；提供 SOLA 紫外线热处理产品，用于薄膜处理；以及提供 VECTOR 等离子体增强 CVD ALD 产品。公司还提供 SPEED gapfill 高密度等离子体化学气相沉积产品；以及 Striker 单片晶圆原子层沉积产品，用于介电薄膜解决方案。此外，公司提供 Flex，用于介电刻蚀应用；提供 Kiyo，用于导体刻蚀应用；提供 Syndion，用于 through-silicon via（TSV）刻蚀应用；以及提供 Versys 金属产品，用于金属刻蚀工艺。进一步地，公司提供 Coronus 倒角清洗产品，以提升芯片良率；提供 Da Vinci、DV-Prime、EOS 以及 SP 系列产品，用于满足各类晶圆清洗应用；并提供 Metryx 质量计量系统，用于半导体晶圆制造中高精度的在线质量测量。公司将其产品和服务销售给美国、中国、欧洲、日本、韩国、东南亚、台湾以及国际市场的半导体行业。Lam Research Corporation 于 1980 年成立，总部位于美国加利福尼亚州的弗里蒙特。