SK Hynix se prépare à adopter tôt l’équipement de liaison hybride intégrée

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La principale contrainte technique est le polissage chimico-mécanique. Dans la liaison hybride, le CMP est essentiel car les surfaces doivent être extrêmement plates et propres. Des problèmes tels que la déformation du cuivre, l’érosion, les particules ou la contamination peuvent directement nuire au rendement, à la résistance et à la fiabilité à long terme
Le partenariat entre AMAT et BESI couvre le CMP, le traitement de surface et la liaison hybride, offrant une solution à ce problème
Les risques à court terme sont la complexité de la mise à l’échelle et le fait que les règles de hauteur JEDEC restent suffisamment souples pour que la liaison thermocompression continue de fonctionner à des couches plus élevées. Cela pourrait retarder la demande d’équipement